一、零部件是半導體設備核心，市場規模超 500 億美元。

半導體設備精密零部件行業是半導體設備行業的支撐。零部件的性能、質量和精度直接決定著設備的可靠性和穩定性，也是我國在半導體制造能 力上向高端化躍升的關鍵基礎要素。

半導體零部件是半導體設備的關鍵構成，半導體設備零部件可分為以下幾大類：機械、電器、機電一體、氣體/液體/真空系統、儀器儀表、光學和其它類。

2021 年半導體零部件全球市場高達500億美元。對于設備廠商而言，零部件采購往往占其營業成本的 90%左右，如此龐大的市場，對于國內新興廠商而言，存在著原料的性能要求高、后工序處理難度大、認證體系復雜、周期長、市場碎片化等諸多軟實力考驗和硬技術壁壘。

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二、半導體設備零部件：國產替代處于 0 到 1 的階段。

中國半導體國產替代進程逐漸深化，目前已進行到設備零部件的環節。半導體產業鏈的國產替代，從最初的 IC 設計國產替代，到設備材料國產替代，目前已進行到半導體設備零部件的國產替代。中國半導體國產替代進程逐漸深化，目前已進行到設備零部件的環節。

技術壁壘高，海外巨頭壟斷各個細分零部件，覆蓋半導體、光伏等多行業設備。2021 年全球半導體零部件領軍供應商前 10 中，包括有蔡司 ZEISS（光學鏡頭），MKS 儀器（MFC、射頻電源、真空產品），英國愛德華 Edwards（真空泵），Advanced Energy（射頻電源），Horiba（MFC），VAT（真空閥件），Ichor（模塊化氣體輸送 系統以及其他組件），Ultra Clean Tech（密封系統），ASML（光學部件）及 EBARA （干泵）。

部分品類率先突破，國產化快速推進。在真空閥、工藝閥、超純氣體管路等部分品類，有一些公司抓住這個窗口期，業績爆發增長，估值也相對低位。半導體設備行業近年迎來快速增長，而上游零部件環節的自主可控需求日益強烈。伴隨一批優秀國產供應商涌現，我們看好國內半導體零部件行業受益下游需求的持續增長和國產化加速。

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