半導體前道設備零部件的種類眾多,而且有很多是特定領域的專用品,根本不可能完全統計清楚。所以我暫時只能把一部分比較常規的類型先羅列出來,供大家參考。
半導體前道設備部件分類包括:光學系統、真空系統、氣路系統、液路系統、溫控系統、運動系統、功能部件、材料部件、電器電源系統、泵類等,具體如下:
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