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東莞諾一碳化硅托盤主要特征:
1、高硬度
2、耐磨
3、高導熱性
3、高溫下機械性能穩定
4、耐化學腐蝕。
碳化硅托盤應用領域:泛半導體領域。
碳化硅材料具有高硬度、高耐磨性和耐化學腐蝕性。熱傳導率好,在高溫下性能穩定,屬于高溫機構材料。
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