碳化硅(SiC)
碳化硅是一種黑色陶瓷和其它精密陶瓷相比在高溫環(huán)境中(1000度)機(jī)械強(qiáng)度降低幅度小、耐腐蝕性高,因其強(qiáng)共價鍵,在各種精密陶瓷中硬度最高、耐蝕性優(yōu)異,在液體中良好的滑動性,利用這些特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于機(jī)械密封、化工、軸承等方面。
此外它具有較高的楊反模量和小的膨帳等數(shù),因此應(yīng)用于高精度的部件(如光學(xué)部件)。
由于其致密燒結(jié),因此可進(jìn)行鏡面加工,耐高溫超1400度以上,耐熱沖擊、具有優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性、高熱導(dǎo)熱、其高純碳化硅常被用作半導(dǎo)體制造設(shè)備的零部件。